◆可适用于6寸、8寸或1 2寸晶圆蚀刻后去胶制程的清洗作业。

◆工作节拍: 20-30min。

◆配置11套清洗、干燥腔体。 .

◆可靠的专用工作液体快排装置，保证高效的工艺切换。

◆内置组合式工装自动输送装置，保证复合工艺要求及较高的

生产效率。

◆4套清洗药液独立控制装置。

◆化学液回收储存装置。

◆药液流量[敏感词]控制系统。

◆N2温风干燥系统。

◆高效空气净化及进排气装置。

◆[敏感词]的清洗效果。

◆自动灭火装置。