※人机界面、PLC控制系统。

※多组单机械臂.上下采用气缸提升横移先进马达置于机体外面安全可靠。

※水系型清洗机、DI水、IPA清洗干燥。

※间接式导热油加热方式，全自动IPA检测，灭火装置。

※机架及全封闭外罩HEPA高效空气过滤器，防止二次污染。

※采用多种清洗频率清洗设备: 40KHz、 80KHz、100KHz、 125KHz。

※采用新型超声波三频技术.

※全封闭外罩，排抽气系统。